「鎢退鉬進」:海力士375層NAND背後,真正的贏家是這兩類上游美股

原文作者:Ada,深潮 TechFlow

據行業研究機構 TrendForce 消息,海力士已完成 375 層 NAND 設計驗證,量產計劃於 2026 年底啟動,公司將轉換現有產能投產。海力士 375 層 NAND 的驗證完成,把一個醞釀多年的產業拐點推到了臺前,芯片裡用了近四分之一個世紀的鎢,正在被鉬取代。這場材料替代的真正贏家不在存儲廠,反而在賣設備和賣耗材的上游。

鎢撐了近 25 年,縮放正逼出它的物理邊界

值得一提的是,在金屬佈線中第一個引入鉬的是三星,不是海力士。三星早在其 286 層第九代 NAND 上就已採用鉬,該產品於 2024 年 4 月量產,目前正將鉬的使用擴展至更多工藝步驟。海力士此番是自家產品線上首次用鉬,在行業座標裡屬於追趕,而非首創。

這款 375 層產品本身也有一段下修史。據 TheElec,海力士內部原本對標 400 層級,因高層堆疊的製造複雜度,最終下修到 375 層。即便如此,它仍是海力士 NAND 路線圖上的關鍵一躍,更遠的 480 層與 604 層產品被認為將更徹底地依賴鉬。

鉬替代鎢雖然並非存儲獨有,但卻帶來了一場行業級拐點。據報道,鎢作為互連金屬在 NAND、DRAM 及邏輯/代工的中段工藝中沿用了近 25 年,但縮放要求如今正在突破鎢的邊界,鉬成為最被看好的替代候選。

鉬的優勢不止於低電阻。與鎢和銅不同,鉬無需阻擋層即可防止擴散,省去工序,提升良率;其高熔點與抗氧化特性支持直接沉積,更適配 3D NAND 與邏輯端的 GAA(全環繞柵極)等高深寬比結構。換言之,層數越往上堆、節點越往下走,鎢越吃力,鉬的滲透空間越大。這正是「賣鏟人」邏輯成立的根基,替代一旦鋪開,受益的是提供工具與材料的環節。

Lam Research:唯一已量產 ALD 鉬工具的賣鏟人

這條線裡最直接、敘事最硬的是就是 Lam Research(LRCX)。其 2025 年 2 月推出的 ALTUS Halo,被公司稱為業界首款將鉬用於量產的原子層沉積(ALD)工具,多數情況下電阻較傳統鎢金屬化改善超過 50%。Lam 方面披露,早期採用已在韓國與新加坡的高產能 3D NAND 工廠以及先進邏輯工廠展開,韓國對應三星與海力士,新加坡對應美光。

生意彈性藏在工序的複雜化裡。據 Zacks 研究,Lam 目前是唯一一家已有 ALD 鉬工具投入量產的供應商,服務代工與 NAND 客戶;鉬沉積雖更慢、更復雜,卻能讓 Lam 在這些先進節點上的單晶圓金屬沉積可服務市場(SAM)擴大至三倍。工序變難,對設備商反而是增量。

Entegris 賣耗材,美光是美股唯一純存儲標的

應用材料(AMAT)走的是另一條路徑。今年 2 月,它推出 Spectral ALD 系統,用鉬取代當今晶體管接觸中的鎢,在晶體管與銅佈線網絡之間這一關鍵連接處降低電阻,目前已被多家領先邏輯代工廠採用。需要區分的是,Lam 的鉬故事偏 NAND/DRAM 字線,AMAT 的鉬故事偏 2nm GAA 邏輯接觸,兩者下游不同,不能並作同一受益邏輯。

材料端的代表是 Entegris(ENTG)。該公司供應鉬的固態前驅體二氯二氧化鉬(MoO₂Cl₂),專為 DRAM 與 3D NAND 定製,並配套 ProE-Vap 輸送系統。其邏輯在於材料切換的連鎖效應。據 Entegris,從銅和鎢轉向鉬這一項變化將波及前驅體選擇、拋光墊設計、研磨液配方、刻蝕材料與過濾等多個環節,工藝更分散,但貫穿多工序。

至於存儲廠本身,三星與海力士均不在美股主板,美光(MU)是美股裡唯一的純正存儲標的,且在鉬上搶了身位。Lam 援引美光 NAND 開發副總裁 Mark Kiehlbauch 的說法,稱鉬金屬化讓美光在最新一代 NAND 產品上率先實現業界領先的 I/O 帶寬與存儲容量。不過,美光是「用鉬的人」而非「賣鉬受益的人」,其股價驅動主要仍是存儲週期與 HBM,鉬只是性能加分項。

鉬礦商沾光?半導體需求只是零頭

理論上,鉬金屬礦商也算這條敘事的邊緣受益者,美股可對應以鉬為銅礦副產品的 Freeport-McMoRan(FCX)。但半導體的鉬用量級實在太小。據 TheElec 及行業估算,三星去年採購約 4 噸鉬,今年約 10 噸,海力士起步約 4 噸,全行業到 2030 年預計也僅 80 噸級別。相對於以鋼鐵合金為主,年消耗以數十萬噸計的全球鉬市場,半導體需求只是零頭。把礦商股價掛到 NAND 敘事上,是站不住的因果。

這也圈定了「鎢退鉬進」故事的真正落點,海力士 375 層只是起點,真正的射程橫跨 NAND、DRAM 與材料三大品類。在這場金屬換代裡,賣工具和賣耗材的環節確定性更高,用鉬的存儲廠是性能受益方而非估值受益方,金屬端則基本沾不上光。

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